熱翹曲系統(tǒng)

v  最大樣品尺寸 : 400 mm x 400 mm

v  最小樣品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm

v  在 2 秒內獲得 140 萬個數(shù)據(jù)點

v  Warpage 分辨率 <1 μm

v  最高每秒加熱 3.5oC 攝氏度

v  紅外線加熱和對流冷卻來控制溫度

v  高分辨率測量小型樣品

v  XY 軸應變 STRAIN 和熱膨脹系數(shù)CTE 計算

支持從室溫到 300oC 以下的回流爐溫度模擬，以及-50oC 至 300oC 度可靠性測試選項